72
Şəkil 3.14. Diffuziya olunmuş təbəqədə diffuziya edən
elementin konsentrasiyası.
a
o
- diffuziya təbəqəsinin ümumi qalınlığı,
a
Э
- səthdə diffuziya qalınlığı, a
пер
- sərhəd sahəsində diffuziya qalınlığı, C
пов
-
səthə diffuziya edən elementlərin konsentrasiyası, C
гр
- sərhəd sahəsində
diffuziya edən elementlərin konsentrasiyası, C
0
- əsas materialda diffuziya
elementlərinin miqdarı.
Diffuziya prosesi diffuziya əmsalı ilə- D
xarakteriza olunur və bu əmsalın temperaturdan
asılılığı aşağıdakı bərabərliklə ifadə olunur:
)
exp(
0
RT
Q
D
D
(3.1.)
burada D
0
- həlledici kristal qəfəsin növündən asılı
əmsa, Q- prosesin tələb olunan aktivləşmə enerjisi, R-
universal qaz sabiti, T- mütləq temperaturdur.
Dostları ilə paylaş: