M.Ə. Ramazanov, A. Q. Həsənov

Nümunə  səthinin daha aydın  şəkillərin alınması üçün 
tərəflərin nisbəti böyük olan zondlar tələb olunur (v)
. 
 
Nümunə səthindəki çuxurlar kimi dərinliklərindəki xüsusiy-
yətlərin təsvirlərin aşkarlanması zamanı, bu daha vacib tələbdir. 
Tərəflərin nisbəti kiçik olan zondlar bu xüsusiyyətləri tam 
təsvir edə bilməyəcəkdir,  bu şəkil 4-17-də göstərilmişdir. 
 
 
Şəkil 4-17.  Tərəflərin nisbəti kiçik olan zondlar çuxurların dibinə 
çata bilmir (a). Bu xüsusiyyət yalnız uzun və nazik 
zondlar vasitəsi ilə təsvir oluna bilər (b). 
 
b) Qabarıq tipli xüsusiyyətlərin təhrifləri 
       Müstəvi səthlərin kiçik qabarıq təsvirləri zamanı (məsələn 
kvant nöqtələr) iti uclu zondların  şəkillərin eninə alınmasına 
Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər 
 
 
99
ciddi təsir edir. Şəkil 4-18 göstərildiyi kimi böyük radiuslu 
zondun mərkəzi oxu səthə toxunduqdan sonra belə xüsusiyyət-
lərlə qarşılıqlı  təsir  əmələ  gəlməyə başlayır. Alınmış  şəkillər 
real nümunə səthindən fərqli olaraq kifayət qədər enli alınacaq-
dır. Bu zaman hündürlüyün ölçülməsi zondun həndəsi forma-
sından asılı olmayaraq düz olacaq. Bu tip dərin və ya kəskin 
xüsusiyyətləri olan nümunələr üçün şəkillərinin alınmasında 
istifadə olunan zondlar iti uclu olmalıdır, uzun olması isə vacib 
deyil.  
 
 
Şəkil 4-18. Səth üzərindəki çox kiçik detalların  şəkillərinin çəkil-
məsi zamanı real nümunədən fərqli küt zondlar daha 
enli təsvirlərin alınmasına gətirib çıxarır(a).  İti uclu 
zondlardan istifadə etdikdə  şəkillərin eni ilə real detal-
ların eni daha uyğun gəlir(b). Hər iki halda hündür-
lüyün xüsusiyyətləri dəqiq alınır. 
 
v) Zondun çirklənməsi 
Əgər SZM zondun ucu çirklənibdirsə, alınmış şəkillər təhrif 
olacaqdır. Bəzi hallarda çirklənmə skanetməni yaxşılaş-dıra 
bilər. Məsələn, STM vasitəsi ilə atom səviyyəsində ayırd-etmə 
ilə qrafitin təsvirləri zamanı zond səthdən qrafiti seçə bilər. Bu 
halda elektronların tunelləşməsi qrafitin atomları (karbon) ilə 
zond arasında və nümunə səthində baş verir.  
   q) Zondun korlanması 
Bəzən bərk nümunələrin şəkillərinin alınması prosesində və 
ya zondla ehtiyatlı davranmadıqda zondun ucu iki hissəyə 

“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
100
ayrıla bilər(Şəkil 4-19). Belə zondla nümunə  səthinin  şəkli 
çəkilən zaman, hər bir səth xüsusiyyətinin təsvirinin iki dəfə  
alınması müşahidə olunur. 
 
Şəkil 4-19.   Zondun ucunun iki yerə ayrılması ilə nümunə səthində 
xüsusiyyətlərin təsvirləri iki dəfə alır,  yeni şəkillərin 
alınmasında zondun hər iki ucu növbələşərək iştirak 
edir.  
 
d) Zond və nümunə arasındakı bucaq 
Əgər zond nümunə  səthində 90
0
-dən fərqli bucaq altında 
yerləşərsə, alınmış şəkillərdə təhriflər olacaqdır. Hər tərəfi eyni 
bucağa malik xüsusiyyətlərin təsvirləri zamanı,  bir tərəfi o biri 
tərəfdən daha fərqli görünəcəkdir.  
 
 Şəkil 4-20. Zond və nümunə arasında bucağa görə  şəkildə 
əmələ gələ təhriflər. 
 
     e) SZM-də  səthin  şəkillərinə görə  səthin formasının 
bərpası üsulları  
      Bütün  hallarda  zondun  işçi hissəsinin ölçülərinin xarakte-
Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər 
 
 
101
rindən asılı olaraq qeyri hamar səthlərin skan edilməsi zamanı 
SZM  şəkillərində  təhriflər müşahidə olunur. Faktiki olaraq 
SZM-də  şəkillərin alınması  tədqiq olunan nümunə  səthi və 
zond  təsirinin formalaşmasıdır.   
Xüsusi halda bu problemin həlli üçün konkret zond [17, 18]  
formalarını  nəzərə almaqla SZM şəkillərinin bərpa olunması, 
SZM nəticələrinin kompüter vasitəsi ilə  işlənməsinə  əsaslanan 
müasir üsullardan istifadə edilir. Səthin bərpa olunmasının  ən 
effektiv üsulu, ədədi dekonvolyasiya üsulu olub, test quruluş-
ların(səthin relyefi yaxşı  məlum olan) skan edilməsi zamanı 
nəticədə alınan zond formalarının istifadə olunmasına əsaslanır.  
Zondların işçi hissələrinin nizamlanması  və formalarının 
təyin olunması üçün səthin relyefinin parametrlərinin məlum 
xüsusi testlərindən istifadə olunur. Ən çox yayılmış test 
strukturlarının növləri və atom-qüvvə mikroskopu vasitəsilə 
alınmış  şəkillərin xarakteristikaları  şəkil 4-21 və 4-22-də gös-
tərilmişdir.  İti uclu nizamlayıcı  qəfəs növləri (AQM-da çev-
rilmiş massiv) zondun ucunu yaxşı  təsvir etməyə imkan verir, 
eyni zamanda düzbucaqlı  qəfəs səthin kənardan forması-nı 
bərpa etməyə kömək edir. Qəfəslərin skanedilməsi ilə veri-
lənlərinin nəticələrini birləşdirərək zondların işçi hissələrinin 
formasını tamamilə bərpa etmək olar.  
j) NanoEducator cihazı üçün zondların hazırlanması 
qurğusu 
NanoEductor
 skanedici zond mikroskopunda AQM və 
STM üçün volfram naqilindən hazırlanmış bir ucu itilənmiş 
universal zondlar istifadə edilir.  
Elektrokimyəvi itilənmə üsulu ilə SZM zondlarının yenilə-
rinin və ucu küt olanlarının bərpası üçün istifadə olunan iynələ-
rin hazırlanması qurğusu (İHQ) şəkil 4-23-də göstərilmişdir.  
İHQ-də metal həlqə qələvi məhlula salınır və həlqədə qələvi 
məhluldan pərdə  əmələ  gəlir Volfram naqilin ucu bu həlqəyə 
daxil edilir və  bura elektrik cərəyanı  tətbiq edilir. Bu zaman 
naqilin elektrokimyəvi itilənməsi prosesi baş verir və metal 

“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
102
atomları məhlula keçir. 
 
Şəkil 4-21. TGX1 düzbucaqlı  nizamlanmış (dərəcələnmə) qəfəsin 
elektron mikroskopunda (solda) və AQM NanoEducator 
cihazında (sağda) alınmış şəkilləri. 
 
Şəkil 4-22. TGX1 nizamlanmış (dərəcələnmiş) qəfəsinin iti uclu 
massiv  şəklində elektron mikroskopunda (solda) və 
AQM NanoEductor  cihazında (sağda) alınmış şəkilləri. 
 
Şəkil 4-23-də göstərilmiş  İHQ aşağıdakı kimi işləyir: Sax-
layıcıya (8) bərkidilmiş volfram  naqil parçası (1) vint (3) va-
sitəsilə ilə yuxarıya və  aşağıya yeri dəyişdirilir. Vinti  fırlat-
maqla naqil lazımı  səviyyədə  həlqəyə (2) salınır. Həlqə naqil 
nixrom naqilindən hazırlanır və itilənmə prosesində  iştirak 
etmir. Əvvəlcədən  həlqə (2) 5%-li KON və ya NaOH məhlula 
salınaraq həlqədə (2) köpük yaranmış olur. Bundan sonra V 
hərfi ilə  işarə olunmuş  dəyişən və ya sabit elektrik cərəyan 
mənbəyi işə salınır. Volfram naqilin itilənməsi prosesi baş verir 
və iti uclu iynə hazırlanır.  İtiləmə prosesini operator optik 
mikroskopda (7) müşahidə edir. İşıqlanma işıqlandırıcıda (4) 
Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər 
 
 
103
olan işıq diodları  tərəfindən təmin edilir. Bütün konstruksiya-
ların elementləri dayağa bərkidilmiş  vəziyyətdə olur. İynənin 
(1) itilənməsindən sonra saxlayıcı (8) ilə birlikdə yuxarı qaldırı-
lır və çıxarılır. İynənin hazırlanmasının texniki xarakteristikası 
cədvəl 4-1-də verilmişdir.  
 
Şəkil 4-23. SZM üçün iynələrin hazırlanması qurğunun konstruksiyası. 
 
  
Cədvəl 4-1.  İHQ-in texniki xarakteristikası 
S/N
ADI Ölçüləri 
1 
İynənin ucunun əyrilik radiusu          0,2 mkm 
2 
İynələrin hazırlanma materialları: 
volfram naqil     
diametri  0,1 mm 
3 
Şaquli istiqamətdə yerdəyişmə 
diapazonu                               
25 mm 
4 Gərginlik mənbəyi       
6-9 V / 0,5 A dəyişən 
cərəyan 
5 
Optik mikroskopun böyütməsi          x20 
6 
İynələrin hazırlanmasına tələb 
olunan vaxt 
2 dəqiqə 
     
z) Kütləşmiş zondların bərpası üsulu 
                                                          
Əgər zond kütləşibsə onu aşağıdakı alqoritmə uyğun olaraq 
itiləmək lazımdır:  

“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
104
1.
 
İHQ  komplektə daxil olan adapterə qoşmalı, adapteri isə 
220V elektrik şəbəkəsinə qoşmalı.  
2.
 
İtiləmənin sönmüş rejimdə olmasını  dəqiqləşdirilməli(qır-
mızı lampa yanmır).  
3.
 
Həlqəni (2) saxlayıcıdan (8) İHQ tərəf döndərilir.  
4.
 
Zond çeviricini saxlayıcıya 8 qoymaq. 
5.
 
Zond çeviricisi qoyulmuş saxlayıcını elə  vəziyyətə  gətiril-
məlidir ki,  zond (1) şaquli vəziyyətdə olsun. 
6.
 
Zond çeviricisi qoyulmuş saxlayıcı 8 vintlə (3) yuxarı elə 
vəziyyətə gətirilir ki, zondun sonu (1) həlqədən (2) yuxarıda 
olsun.  
7.
 
Həlqə elə döndərilir ki,  o  zondun (1) altında yerləşsin.  
8.
 
Optik mikroskopun vəziyyəti elə nizamlanır ki, həlqə (2) 
mikroskopun fokusunda görünsün (şəkil 4-24).  
 
Şəkil 4-24. Optik mikroskopda alınmış İHQ həlqə və zondun ucu. 
 
9.  Həlqə (2) əvvəlki vəziyyətə  gətirilir və  şəkil 4-25-də gös-
tərildiyi kimi Petri fincanındakı 5%-li KON məhluluna salı-
nır. Bunun üçün məhlul mayesinin səthini həlqəyə toxun-
durmalı  və fincanı  aşağı salmalı. Həlqədə  məhlul damcısı 
Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər 
 
 
105
əmələ gələcəkdir.  
 
Şəkil 4-25. Həlqədə qələvi məhlul damcısının əmələ gəlməsi. 
 
10. Yenidən həlqəni döndərərək zondun (1) altında yerləşdirə-
rək zond iynəsini aşağıya endirməli (şəkil 4-26). Bunun 
üçün vintini (3) o vaxta qədər fırlatmalı ki, iynənin ucu qə-
ləvi məhlulun səthinə toxunsun. Optik mikroskopda iynə ilə 
qabarma müşahidə olunacaqdır (şəkil 4-26).  
 
Şəkil 4-26. İynənin ucu maye səthinə toxunarkən yaranmış qabarma. 
 
11. Əmələ  gələn qabarmanı saxlamaq şərti ilə iynəni ehtiyatla 
elə qaldırmalı ki, ucu əsas mayenin səthindən yuxarıda 
olsun (və bu zaman qabarma qalsın). Bu onun üçün 
zəruridir ki, itiləmə prosesində hazırlanan zondun ucu 
qabarmaya toxunmuş olsun.  
12. İynələrin itilənmə prosesi. Bu zaman lampa işıqlanacaq və 

“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
106
maye “qaynamağa” başlayacaq (şəkil 4-27). Qabarmaya 
toxunan iynənin ucunu itilədikdən sonra, qələvi məhlulun 
səthi zondla elektrik kontaktını itirir və “qaynama” prosesi 
sona yetir (şəkil 4-27).  
 
Şəkil 4-27. Qələvi məhlulunun səthi ilə zond (solda) arasında 
elektrik cərəyanı keçən zamanı “qaynama” prosesi.  
Zond iynəsinin hazırlanmasından sonra “qaynama” 
prosesinin sönməsi momenti (sağda). 
 
13.  İHQ söndürməli.  
14. Zond yerləşdirilmiş saxlayıcı(8)  vintlə(3) yuxarıya qaldı-
rılmalı.  
15.  Saxlayıcıdan zondu çıxarmalı.  
16.  Zondun iynəsini su ilə yuyaraq və onu qurutmalı.  
17. SZM də işləmək qaydalarına uyğun olaraq zondu saxlayıcı 
hissəyə qoyub rezonans pikin olmasını yoxlamalı. Əgər pik 
kifayət qədər amplituda malik deyilsə, zondu təkrarən 
qurutmalı, yəni nəmliyin qalması pyezoelektrik elektrodları 
elektrik şuntlamaya səbəb olur.  
18. Əgər iynələrin hazırlanması aparılmırsa, onda qələvi məh-
lul olan həlqəni çıxarıb su ilə yuyun.  
19.  İHQ elektrik şəbəkəsindən ayırmalı. 
I)   Yeni zondun hazırlanması üsulu  
1. Yeni zondun hazırlanması üçün universal qarşılıqlı  təsir 
çeviricisi götürülür. Köhnə iynəni pyezoborudan pinset vasi-
təsilə  fırladaraq çıxarılır.  Əgər lazımdırsa pyezoborunun so-
Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər 
 
 
107
nunu təmizləmək.  
2. Volfram naqil dolaqdan uzunluğu 10-15mm hissə  kəsmə-li 
(şəkil 4-28). 
 
Şəkil 4-28. Yeni zondun hazırlanmasına hazırlıq. 
 
3.Pinsetlə iynənin sonunu şəkil 4-29 göstərildiyi kimi pyezobo-
ruya daxil etməli. Hazırlanmış iynənin  əyilmiş sonunun 
ölçüsü pyezoborunun diametrindən çox az böyük olmalıdır.  
 
Şəkil 4-29. Yeni zond üçün hazırlanmış iynənin əyilmiş hissəsi. 
  
4. Pyezoboruya iynənin  əyilmiş sonunu ehtiyatla qoymalı  (şə-
kil 4-30). O pyezoboruda volfram naqilin elastikliyinə görə 
möhkəm yerləşəcəkdir.  
 
Şəkil 4-30. Pyezoboruya qoyulmuş iynə. 
 
5.Göndərilən komplektə daxil olan adapterə  İHQ qoşmalı, 
adapteri 220V elektrik şəbəkəsinə qoşmalı.  
6.İtiləmə rejiminin sönməsini dəqiqləşdirmək (qırmızı işıq yan-
mır). 
7. Həlqəni (2) saxlayıcıdan (8) İHQ-yə döndərmək (şəkil 4-23). 

“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
108
8.Yeni zond hazırlamaq üçün çeviricini iynə ilə birlikdə sax-
layıcıya (8) qoymalı.  
9.Saxlayıcını çevirici ilə birlikdə elə  vəziyyətə  gətirmək 
lazımdır ki,  iynə (1) şaquli  vəziyyətdə olsun.  
10.Saxlayıcını çevirici ilə birlikdə  vinti (3) yuxarıya qaldıraraq 
elə vəziyyətə gətirilir ki, iynənin sonu (1) həlqədən (2) yu-
xarıda olsun.  
11.  Həlqəni (2) elə döndərin ki, o iynənin altında olsun.  
12. Optik mikroskopun vəziyyəti dəqiqləşdirilərək elə  vəziy-
yətə gətirilir ki, həlqə (2) mikroskopunun fokusunda  olsun 
(şəkil 4-24).  
13. Həlqəni (2) döndərərək  əvvəlki vəziyyətə  gətirməli və 
içərisində 5%-li KON məhlul olan Petri fincanına salaraq 
köpüyü almalı  (şəkil 4-25). Bunun üçün məhlulun səthini 
həlqəyə toxundurmaq və fincanı aşağı salmaq lazımdır. Bu 
zaman həlqədə məhlulun köpüyü yaranacaqdır.  
14. Yenidən həlqəni naqilin (1) altına gətirmək və naqili damcı 
köpüyünə endirmək. Bu zaman iynə  qələvi məhlula tama-
milə daxil olmalıdır.  
15.  Köpük və zond çeviricisi arasında təqribən 2-3 mm məsafə 
saxlamaq. Yeni hazırlanacaq iynənin uzunluğu 5-7 mm ola-
caqdır.  
16. İtiləmə prosesinə başlamaq. Bu zaman lampa işıqlanacaq və 
maye məhlul “qaynamağa”  başlayacaq (şəkil 4-27). 
17. Optik mikroskopda itiləmə prosesini müşahidə edərək pe-
riodik olaraq itiləmə bağlayıcısını yandırıb söndürməli. Bu 
zaman volfram naqilin köpük daxilində itilənməsini 
müşahidə olunur.  
     İtilənmənin ölçüsünə görə, itilənən hissə nazikləşir, naqil 
kəsilərək aşağı hissəsi dayağa düşür və avtomatik olaraq 
elektrik dövrəsi və iynənin hazırlanması (itilənməsi) prosesi 
dayandırılır.  
DİQQƏT! 
İynənin hazırlanmasını diqqətlə izləyin və  aşağı 
hissənin 1 kəsilib düşdükdən sonra cərəyanı dərhal söndürün. 
Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər 
 
 
109
18.  Zond qoyulmuş  saxlayıcını 8 vintlə 3 yuxarıya qaldırmaq.  
19.
 
Saxlayıcıdan zondu çıxarmaq.  
20.
 
Zondun ucunu su ilə yumaq və qurutmaq. 
21. Zondu saxlayıcı hissəyə qoyub  SZM-lə  iş qaydalarına 
əsasən rezonans pikin yaranmasını yoxlamalı.  Əgər pik 
kifayət qədər amplituda malik deyilsə,  zondu təkrar qurut-
malı. Zondda qalmış  nəmlik pyezoelementin elektrodlarını 
elektrik şuntlaya bilər.  
22.  İtiləmə aparılması lazım deyilsə, məhlullu həlqəni çıxarıb 
və onu su ilə yumalı.  
23.
 
İHQ-ni elektrik şəbəkəsindən ayırmalı. 
 
4.3. Metodik göstərişlər 
 NanoEducator
 skanedici zond mikroskopunda işləməyə 
başlamazdan  əvvəl cihazın istifadəçilərə  rəhbərlik sənədini 
öyrənmək zəruridir.  
 
4.4.  Tapşırıq  
I hissə  
1. Skanedicinin rezonans tezliyinin ölçülməsi.  
1.1.  NanoEducator proqramını bağlayın və elektron bloku 
söndürün.  
1.2.  Əgər zond yuvadadırsa, zond çeviricini ölçən başlığı 
yuvasından çıxarmalı. Altlıqda nümunə varsa onu çıxarmalı.  
1.3.  İdarəetmə blokundan ölçən başlığa verilən skanedicinin 
idarə olunması gərginlik kabeli başlıqdan  ayırmalı.  
1.4. Onun yerinə ölçən başlığa xüsusi birləşdirici kabeli bir-
ləşdirin. Birləşdirici kabelin ikinci sonunu qarşılıqlı  təsir 
çeviricinin yuvasına birləşdirməli. Bu kabel generatordan veri-
lən gərginliklə skanedicinin amplitud-tezlik xarakteristikası-nı 
(ATX) təyin etmək üçün istifadə edilir. Eyni ilə bu zondun 
ATX-sini ölçmək üçün istifadə olunur.  Skanedicinin ATX-nin 
ölçmə sxemi şəkil 4-31-də göstərilmişdir. Skanedicinin Z 
pyezoelementinə generatordan gərginlik verilir. Mexaniki 

“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
110
rəqslər skanedicinin X pyezoelementi oxu istiqamətində elek-
trik yüklərinin yaranmasına səbəb olur. Bu siqnal gücləndirilir 
və ölçmə sxeminə daxil olur.  
 
Şəkil 4-31.  Skanedicinin amplitud-tezlik xarakteristikasının ölçmə 
sxemi. 
 
1.5. Elektron blokunu elektrik şəbəkəsinə birləşdirməli və 
cihazı idarə edən NanoEducator proqramını işə salmalı. 
Skanedici qüvvə mikroskopu (SQM) rejimini seçməli. 
1.6. Alətlər panelindəki  Adjust  düyməsini, sonra isə  Reso-
nance
 düyməsini sıxmaq. Daha sonra Manual rejiminə 
daxil olub RUN düyməsini sıxmalı. Nəticədə qarşılıqlı tə-
sir qüvvəsinin çeviricisində olduğu kimi, skanedicidə ya-
ranan rəqslərin amplitud-tezlik xarakteris-tikası ölçülə-
cəkdir.   
1.7.  Skanediciyə uyğun alınmış ATX-ə görə rezonans piki 
təyin edilir. Generatordan həyəcanlanma gərginliyinin 
qiymətini dəyişməklə, rezonans pikinin hündürlüyü dəyiş-
mək olur. Əgər bu baş vermirsə, başqa tezlik intervalında 
skanedicinin rəqsinin rezonansına uyğun pikin axtarışına 
cəhd edin. Razılaşmaya görə  rəqs amplitudunun dəyiş-
məsi 3-dən 17 Khs (Frequency range 10 vəziyyətinə 
keçirmək) tezlik intervalında baş verir. Frequency range 
2 və 50 qiymətlərində  rəqs amplitudunun tezlikdən asılı 
qrafikinin qurulması. Skanedicinin rəqslərinin rezonans 
pikinin alınmış ATX nəticələrini saxlamalı.   
Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər 
 
 
111
1.8. Yük olan skanedicinin rezonans tezliyinin ölçülməsini tək-
rar edin. Kütlənin artması  nəticəsində skanedicinin rəqs 
sisteminin rezonans piki başqa tezlik intervalına yerini 
dəyişəcək, bu zaman maksimumun forması dəyişməyəcək. 
Skanedicinin rəqslərinin rezonans pikinin olduğu tezlik 
intervalındakı ATX nəticələrini saxlayın. Alınmış  nə-
ticələri müqayisə edin.  
1.9.  NanoEductor proqramını bağlamaq və  Elektron bloku 
söndürmək.  
1.10. Qarşılıqlı  təsir zond çeviricisini yuvasından və ölçmə 
başlıqdan kabeli ayırın. Onun yerinə elektron blokdan 
skanediciyə verilən cərəyan kabelini birləşdirin.  
2.TGX1 test qəfəsinə görə skanedicinin qeyri-xətliliyinin təyini 
2.1. TGX1 test qəfəsi nümunəsini altlığa qoymaq.  
2.2. Zond çeviricisini ölçən başlığın yuvasına qoymaq. 
2.3.  NanoEducator cihazın idarəedici proqramını  işlətmək. 
Skanedici qüvvə mikroskopu (SQM) iş rejimini seçməli.  
2.4. Zond çeviricisinin amplitud-tezlik xarakteristikasının təyini 
və iş reyiminin  qurulması.  
2.5. Əl ilə vintin köməyilə zondun nümunəyə 1 mm məsafəyə 
qədər yaxınlaşmasını həyata keçirməli.  
2.6. Qarşılıqlı  təsirin  alınmasını  aşağıdakı qiymətlərdə apar-
malı 
     -  Amplitude Suppression  = 0,3;   
     -  Feed Back Loop Gain     = 3.  
2.7. Skanetmə pəncərəsini açmaq. Tədqiq olunan nümunə haq-
qında  əvvəlcədən verilmiş  məlumatlar  əsasında skanet-
mənin zəruri parameterlərini daxil etməli. 
2.8. Nümunə  səthinin SZM şəkillərinin alınması. Alınmış 
nəticələrin  saxlanması.  
2.9. Topoqrafiya ölçmələrini təkrar etməli. Bunun üçün seçil-
miş sahəni başqa mümkün (Area) sahə ilə  əvəz edərək 
skanetməni təkrar etməli. Başqa oblasta keçərkən və ya 
skanetmə oblastının ölçülərini dəyişərkən skanedici pye-

“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
112
zokeramikanın sürüşməsi ilə  əlaqəli  şəkildə xarakteristik 
əyilmə müşahidə olunacaqdır. Bu zaman 2 dəqiqə 
gözləmək lazımdır ki, skanetmənin nəticələrində təhriflər 
minimal olsun. Bundan sora skanetməni yenidən ba-
şlamalı. Alınmış şəkilləri saxlamalı. 
2.10. Alınmış şəkillərin nizamlanması dəqiqliyini x, y və z ox-
larına görə skaetmənin dəqiqliyini, period və hündür-lük 
elementlərinin test qəfəsinin nominal  qiymətlərinə görə  
qiymətləndirilməli.  
2.11. Alınmış şəkillər üçün skanedicinin qeyri-xətliliyini təyini 
etməli. Bu X və Y oxları üzrə xətlərdə birinci və sonuncu 
periodda ölçmələrə görə difraksiya qəfəsinin periodunun 
faizlə meyl etməsi əsaslanır.   
2.12. Alınmış  şəkillərdə  qəfəsin bucaqlarının meyletməsinin 
kvadratlarının 
o
90 -yə nəzərən qiymətləndirməli.  
3.  Termodreyfin tədqiqi  
3.1. Əks əlaqədən çıxmadan 1mkm
2
 böyük olmayan sahə üçün 
üfüqi hissədə SZM şəkillərin çəkilməsi.  
3.2. Alınmış  şəkili saxlamalı  və alınma vaxtını qeyd etməli. 
Şəkil üzərində xarakteristik məxsusiyyətləri qeyd etmək 
lazımdır ki, yerdəyişməyə  əsasən təkrar skanetmədə ter-
modreyfi təyin etmək mümkün olsun.  
3.3.  Skanetmənin parametrlərini dəyişməyərək skanetməni bir 
neçə  dəqiqə  təkrar etməli, alınmış  şəkilləri saxlamalı  və  
vaxtı qeyd etməli. 
3.4.  Tərkrar skanetmədə qeyd olunmuş xarakteristik xüsusiy-
yətləri tapın.  Müxtəlif vaxt aralığında alınmış nəticələrdə 
nümunədə eyni yerin koordinatlarını müqayisə edərək X 
və Y oxları üzrə zond və nümunə qarşılıqlı termodreyfin 
sürətini təyin edin (nm/s).  
3.5. Təcrübə aparılan vaxt ərzində temperatur dəyişməsi zamanı 
termodreyfin mümkün qiymətini qiymətləndirin. Hesa-
blanmış  nəticələri eksperimental  nəticələrlə müqayi-sə 
edin.  
Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər 
 
 
113
II Hissə 
4. TGT1 test qəfəsinə görə zond formasının təyini.  
4.1. Altlıqda tədqiq olunan -TGT1 test qəfəsi nümunəsini 
yerləşdirin.  
4.2.  NanoEducator cihazının ölçən başlığının yuvasına zond 
çeviricisini yerləşdirin. Yavaşca sıxan vintlə bərkidin. 
4.3.  NanoEducator cihazının idarəedici proqramını  işə salın.  
Skanedici qüvvə mikroskopunun (SQM) iş rejimini seçin.  
4.4. Zond çeviricisinin rezonansa uyğunluğunu yoxlayın. Gen-
erator
  tərəfindən verilən amplitudun qiymətini minimal 
götürməli(0 qədər ola bilər) və 50mV-dan böyük olmamaq 
şərti ilə verilməsi məsləhət olunur. Zondun rəqslərinin 
cavab amplitudunun kiçik qiymətlərində  (<1V)  AM Gain 
əmsalını böyütmək məsləhətdir.  Əgər qrafik üzərində bir 
neçə piklər varsa, əlavə piklərin amplitudlarını azaltmağa 
çalışın. Bunun üçün  vint ilə çeviricinin sıxılma dərəcəsini 
seçmək.  
4.5.  Əl ilə gətirmə vintinin köməyi ilə zondun nümunə səthinə 
təqribən 1mm məsafəyə qədər yaxınlaşdırılmasını həyata 
keçirməli.  
4.6. Landing menyusuna daxil olun. Options pəncərəsində In-